近日,中微总部集研发 、华南
中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ,及生板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。产基PECVD 等微观加工设备研发制造,地期本次封顶的封顶一期项目占地约 50 亩,整体规划总投资 30 亿元。广州公司基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、
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中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ,及生板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。产基PECVD 等微观加工设备研发制造,地期本次封顶的封顶一期项目占地约 50 亩,整体规划总投资 30 亿元。广州公司基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、